真空鍍膜機(jī)安全管理規(guī)定

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1、 真空鍍膜機(jī)安全管理規(guī)定 撰寫人:___________ 部 門:___________ 真空鍍膜機(jī)安全管理規(guī)定 真空鍍膜設(shè)備是電阻加熱式蒸發(fā)真空鍍膜設(shè)備。操作人員必須詳細(xì)閱讀該機(jī)說(shuō)明書,了解設(shè)備結(jié)構(gòu)、工作原理、操作程序并由專業(yè)人員指導(dǎo)培訓(xùn),熟練掌握各操作要領(lǐng)。經(jīng)有關(guān)專業(yè)人員確認(rèn)符合操作規(guī)范,方能獨(dú)立上崗操作。 一、該機(jī)開機(jī)前應(yīng)先檢查電控柜的接線是否有松脫現(xiàn)象,接上電源,并檢查真空室內(nèi)電極絕緣性,鎢絲接觸是否可靠,工件架轉(zhuǎn)動(dòng)是否自如。聯(lián)軸器,輸入電極接觸是否良好,各密封處特別是動(dòng)密封處是否良好。還需檢查擴(kuò)散泵、旋片泵、羅茨泵、滑閥泵等的油量是否滿足要求。提供的電源、

2、氣源,各種機(jī)械泵轉(zhuǎn)向都應(yīng)正確。注意:試驗(yàn)羅茨泵轉(zhuǎn)向一定要在真空狀態(tài)下進(jìn)行。 經(jīng)過(guò)上述檢查,各項(xiàng)性能良好,才能進(jìn)行抽氣試機(jī)。如果鍍膜室長(zhǎng)期暴露大氣,還必須進(jìn)行“煉氣”,就是按照操作規(guī)程,不進(jìn)行鍍膜,只讓機(jī)械泵、擴(kuò)散泵等連續(xù)抽氣,察看真空度上升的穩(wěn)定情況,若真空度保持穩(wěn)定,才能進(jìn)行下一步操作。一般“煉氣”時(shí)間要達(dá)10小時(shí)以上。調(diào)試時(shí)主要檢查: 1.真空檢漏 2.檢查極限壓強(qiáng) 3.抽氣時(shí)間 二、滿足以上各項(xiàng)檢查后,進(jìn)入操作和使用: 1.在非特殊情況下,請(qǐng)勿以斷拉閘(斷電)方式停機(jī)。 2. 本設(shè)備通電及運(yùn)行過(guò)程中,請(qǐng)勿觸摸電氣控制柜內(nèi)部和外部用電器件,注意安全。 3. 確認(rèn)安全無(wú)誤時(shí)才能操

3、作設(shè)備。 4. 不要將設(shè)備交給非本設(shè)備操作人員操作。 5. 設(shè)備及電源控制柜必須良好接地。 6. 非專業(yè)人員請(qǐng)不要維修本設(shè)備。 三、工作中還必須注意以下幾點(diǎn): 1.平時(shí),整個(gè)系統(tǒng)要保持真空狀態(tài),工作前才充入氣體,不要使真空室長(zhǎng)期暴露在大氣中; 2.真空室鍍膜200-250次后,要清洗真空室和工作支撐架; 3.經(jīng)常檢查膠封是否良好,特別是動(dòng)密封圈,定期給動(dòng)密封圈加上真空脂; 4.定期檢查電氣元件,清除灰塵,更換燒壞的電器元件; 5.在真空狀態(tài)下不得拆卸擴(kuò)散泵和閥門; 6.羅茨泵、粗抽泵、維持泵要定期加油,換油(保持油面在油鏡中心為佳); 7.充氣閥門充氣動(dòng)作失靈時(shí),必須進(jìn)行檢修; 8.鍍膜完畢時(shí)先關(guān)閉真空測(cè)量計(jì),再關(guān)閉精抽、前置閥,待精抽閥、前置閥完全關(guān)閉后才能充入大氣,否則會(huì)燒壞電離規(guī)管,氧化擴(kuò)散泵油及發(fā)生不必要的以外; 9.鍍膜機(jī)在工作過(guò)程中,不得斷水,若在工作過(guò)程中突然停電,應(yīng)馬上關(guān)閉精抽閥門,減少因系統(tǒng)漏氣泵油的氧化; 10.關(guān)羅茨泵后一定要經(jīng)過(guò)1分鐘后才能關(guān)粗抽泵,否則會(huì)因?yàn)榱_茨泵在轉(zhuǎn)速較高時(shí)充入氣體,會(huì)損壞羅茨泵。 第 4 頁(yè) 共 4 頁(yè)

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