多軸的幾何誤差校準(zhǔn)機(jī)器使用陣列激光干涉儀

多軸的幾何誤差校準(zhǔn)機(jī)器使用陣列激光干涉儀,幾何,誤差,校準(zhǔn),機(jī)器,使用,陣列,激光,干涉儀 附錄一：  精密工程 23(1999)243 – 252 多軸的幾何誤差校準(zhǔn)機(jī)器使用陣列激光干涉儀 機(jī)械工程系、國(guó)家中正 University160 San-Hsing,Ming-Hsiung,Chia-Yi,621,臺(tái)灣,中華民國(guó)收到 1999 年 4 月 27 日,接受了 1999 年 3 月 17 日 摘要 體積誤差補(bǔ)償已經(jīng)證明定位精度的有效方法增強(qiáng)的多軸機(jī)[1 - 6]。盡管如此,一個(gè)體積誤差補(bǔ)償?shù)挠行杂?jì)劃高度依賴(lài)于一個(gè)校準(zhǔn)方法能給的足夠和可靠的信息體積錯(cuò)誤或機(jī)器的幾何誤差。另一個(gè)主要要求校準(zhǔn)方法是必須進(jìn)行校準(zhǔn)盡快。它也需要校準(zhǔn)應(yīng)該包括的功能校準(zhǔn)覆蓋所有的整體體積定位錯(cuò)誤工作容積測(cè)量和參數(shù)校準(zhǔn),每個(gè)試機(jī)時(shí)軸的幾何誤差元素測(cè)量和計(jì)量框架。受歡迎的功能校準(zhǔn)技術(shù)工件檢驗(yàn)和可伸縮的球棒方法(7 - 12)因?yàn)樘厥獾暮?jiǎn)單的設(shè)置。這些方法是特別受歡迎的驗(yàn)收測(cè)試的整體體積和定期檢查錯(cuò)誤多軸機(jī)器。提出的運(yùn)動(dòng)學(xué)模型機(jī)器上的一些假設(shè)數(shù)學(xué)形式的幾何誤差,測(cè)量可以進(jìn)一步分析確定體積錯(cuò)誤參數(shù)錯(cuò)誤幫助機(jī)器診斷。然而,對(duì)這些校準(zhǔn)方法是困難的足夠的覆蓋所有密度的測(cè)量位置工作卷時(shí)專(zhuān)用的診斷高頻組件或局部幾何誤差的問(wèn)題。由于數(shù)據(jù)不足的密度測(cè)量,這些方法只能給一般幾何級(jí)錯(cuò)誤。此外,因?yàn)樾?zhǔn)數(shù)據(jù)的所有幾何錯(cuò)誤,參數(shù)誤差估計(jì)的體積定位數(shù)據(jù)體積誤差時(shí)變得困難由一個(gè)特大的幾何級(jí)錯(cuò)誤抑制其他較小幾何誤差元素。準(zhǔn)確性和可靠性的估計(jì)幾何錯(cuò)誤可能時(shí)也可議的機(jī)器可重復(fù)性測(cè)量體積定位錯(cuò)誤產(chǎn)生足夠大的噪音。激光干涉儀系統(tǒng),如從惠普或英國(guó),阿美是最流行的參數(shù)標(biāo)定技術(shù)。傳統(tǒng)的激光干涉儀系統(tǒng)是一個(gè)專(zhuān)門(mén)的參數(shù)校準(zhǔn)儀,只有 1 在校準(zhǔn)機(jī)器允許軸移動(dòng)。在一個(gè)設(shè)置,它只直接和幾何誤差的措施的所有其他幾何錯(cuò)誤排除測(cè)量數(shù)據(jù)。因?yàn)閺钠渌胍舻挠绊憥缀握`差和其他機(jī)器避免軸激光干涉儀系統(tǒng)被認(rèn)為是最可靠和準(zhǔn)確的參數(shù)校準(zhǔn)工具。它還提供足夠的密度測(cè)量的想象詳細(xì)的幾何誤差的特性。一個(gè)主要的問(wèn)題激光干涉儀的系統(tǒng)是相當(dāng)大的保健和時(shí)間視和對(duì)齊每次測(cè)量前需要的任務(wù)?？紤]這一事實(shí),一個(gè)設(shè)置,激光干涉儀系統(tǒng)只能測(cè)量 1 錯(cuò)誤組 件,它使校準(zhǔn)的多軸機(jī)成為一個(gè)漫長(zhǎng)的,費(fèi)時(shí)的過(guò)程。加快校準(zhǔn)過(guò)程中,一些作品使用激光三角測(cè)量原理同時(shí)測(cè)量多個(gè)幾何誤差動(dòng)軸(13、14),但準(zhǔn)確性不如干涉儀技術(shù)。一個(gè)重要的功能不由激光干涉儀系統(tǒng)和多錯(cuò)誤的測(cè)量系統(tǒng)是能夠做一個(gè)對(duì)角線(xiàn)位移測(cè)量(即功能測(cè)量表示“狀態(tài)”)同時(shí)在多個(gè)機(jī)器軸移動(dòng)。對(duì)角位移測(cè)量被認(rèn)為是一個(gè)更好的,更直接的方式實(shí)現(xiàn)多軸機(jī)的整體體積的準(zhǔn)確性。的最近開(kāi)發(fā)的激光球棒[15]是故意設(shè)計(jì)來(lái)克服上述問(wèn)題。激光球棒使用一個(gè)可伸縮的組裝維護(hù)激光束與反光鏡移動(dòng)。以其多時(shí)間范圍比傳統(tǒng)的伸縮運(yùn)動(dòng)激光球球酒吧,酒吧可以很容易地做一個(gè)對(duì)角線(xiàn)位移測(cè)量在一定程度的運(yùn)動(dòng)的范圍內(nèi)。機(jī)器的整體體積的準(zhǔn)確性由該系統(tǒng)快速檢查。激光球棒也確定幾何錯(cuò)誤(包括直洛克、輥傾斜和偏航)測(cè)量定位數(shù)據(jù)使用三邊測(cè)量原理[16]。不同的是工件檢驗(yàn)或球桿儀方法,沒(méi)有數(shù)學(xué)形成所需的幾何錯(cuò)誤的假設(shè)三邊測(cè)量原理。在測(cè)量過(guò)程中,三邊測(cè)量方法只涉及 1 軸運(yùn)動(dòng)。通過(guò)避免噪音從其他機(jī)器軸,激光球酒吧是一個(gè)非常準(zhǔn)確和可靠的參數(shù)校準(zhǔn)工具。激光球的主要問(wèn)題酒吧是它的運(yùn)動(dòng)范圍,限制了可伸縮的裝配,可能不是足夠大的對(duì)于某些應(yīng)用程序。傳統(tǒng)的激光干涉儀系統(tǒng)仍然是被認(rèn)為是最準(zhǔn)確和可靠的工具幾何誤差校準(zhǔn)。它的一些問(wèn)題得到改進(jìn)的新版本。例如,DISTAX 從東京 Seimitsu 使用光纖連接消除激光路徑激光頭之間的對(duì)齊和光學(xué)干涉儀。HP5529A 從惠普現(xiàn)在對(duì)角位移測(cè)量的能力,雖然手動(dòng)對(duì)齊的視神經(jīng)和激光路徑復(fù)雜和對(duì)角線(xiàn)困難的。這項(xiàng)工作將報(bào)告一個(gè)陣列激光干涉儀系統(tǒng)的開(kāi)發(fā)和應(yīng)用數(shù)控多軸校準(zhǔn)的機(jī)器。的商業(yè)激光系統(tǒng)完全兼容干涉儀系統(tǒng),同時(shí)消除困難和耗時(shí)的光學(xué)設(shè)置和調(diào)整的過(guò)程在位移測(cè)量。系統(tǒng)的能力一個(gè)對(duì)角線(xiàn)測(cè)量光學(xué)自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)。多軸機(jī)床的整體體積誤差快速檢查陣列對(duì)角線(xiàn)測(cè)量。一個(gè)應(yīng)用程序的所有的系統(tǒng) 21 幾何錯(cuò)誤的機(jī)器可以使用硬件快速計(jì)算的位移測(cè)量一些確定的工作容積的對(duì)角線(xiàn)。輔助電子水平的方法校準(zhǔn)的輥垂直軸也提出了的概念和實(shí)驗(yàn)結(jié)果以下部分系統(tǒng)介紹了。 2. 陣列激光干涉儀的原理 2.1. 系統(tǒng)布局和原理 陣列激光干涉儀系統(tǒng)實(shí)現(xiàn) HP5529A 激光干涉儀系統(tǒng)惠普。圖 1 顯示的配置陣列系統(tǒng)中演示了一個(gè)加工中心。陣列系統(tǒng)包括一個(gè)激光頭,干涉儀光學(xué),反光鏡 光學(xué),光纖束,橫向影響光電探測(cè)器和計(jì)算機(jī)接口。的光纖束由點(diǎn)光源有限公司是開(kāi)發(fā)的用于連接激光頭和干涉儀。光從激光源傳輸?shù)礁缮鎯x一個(gè)模式和偏振保持光纖。激光從反光鏡是接收機(jī)的美聯(lián)儲(chǔ)突變型多模光纖。使用光纖束激光路徑消除必要的對(duì)齊方式激光頭與干涉儀。因?yàn)橹g的距離干涉儀光學(xué)和反光鏡光學(xué)測(cè)量期間不同,是一個(gè)在線(xiàn)策略需要監(jiān)控這兩個(gè)之間的一致性條件光學(xué)。這是通過(guò)使用光電探測(cè)器橫向的影響檢測(cè)激光束反射的位置反光鏡。如圖 2 所示,激光反射光從反光鏡被分束器的分裂干涉儀。雖然分束器上的增透膜的一邊,殘留的反映光仍在干涉儀的底部找到。一個(gè)附加橫向影響光電探測(cè)器對(duì)干涉儀用來(lái)測(cè)量現(xiàn)場(chǎng)的殘光。在一個(gè)對(duì)角線(xiàn)測(cè)量圖 1 所示,干涉儀和反光鏡程序沿著對(duì)角線(xiàn)。如果激光路徑編程斜對(duì)齊行,側(cè)向位移 D 垂直的方向激光干涉儀光學(xué)和之間的路徑會(huì)被發(fā)現(xiàn)反光鏡視神經(jīng)。這種側(cè)向位移將使返回激光束轉(zhuǎn)變級(jí)的 2 d 所示圖 3。在對(duì)角位移測(cè)量,電腦不斷監(jiān)控打光檢測(cè)器的信號(hào)和編碼器。信息的打光檢測(cè)器,對(duì)齊條件可以確定激光路徑。個(gè)人電腦然后計(jì)算新機(jī)器能使坐標(biāo)激光路徑保持一致。這臺(tái)新機(jī)器坐標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)數(shù)控代碼格式,發(fā)送到數(shù)控控制器通過(guò) RS232 接口電纜。CNC 控制器執(zhí)行數(shù)控指揮和調(diào)整的坐標(biāo)干涉儀和反光鏡上的激光點(diǎn)光電探測(cè)器總是在相同的位置。更新的速度坐標(biāo)可以超過(guò) 50 赫茲。我們通常更新機(jī)器坐標(biāo)在每個(gè) 0.5 毫米運(yùn)動(dòng)步進(jìn)機(jī)軸的旅行速度 400 毫米/分鐘。 圖 2-1 圖 2-2 圖 2-3 圖 2-4 2.2. 系統(tǒng)評(píng)價(jià) 由于反射涂層的強(qiáng)度，殘余的光線(xiàn)投射到光電探測(cè)器非常低。它可能是激光點(diǎn)信號(hào)的信噪比不是嗎好。一個(gè)測(cè)試進(jìn)行檢查的地位穩(wěn)定造成的激光點(diǎn)檢測(cè)背景光噪聲,空氣氣流和溫度效應(yīng)。圖 4 顯示了實(shí)驗(yàn)結(jié)果,激光的位置偏差小于 0.01 毫米。這意味著對(duì)齊視覺(jué)條件可以控制幾個(gè)數(shù)萬(wàn)微米。大多數(shù)被認(rèn)為是足夠好的應(yīng)用程序。與傳統(tǒng)激光干涉儀系統(tǒng)使用手動(dòng)對(duì)齊很難實(shí)現(xiàn)這一目標(biāo)的水平。比較系統(tǒng)的準(zhǔn)確性與原 HP5529A 系統(tǒng),x 軸的線(xiàn)性位移誤差加工中心的測(cè)量和比較。這是測(cè)量 3 次在很短的時(shí)間內(nèi)來(lái)消除環(huán)境影響。測(cè)試結(jié)果(見(jiàn)圖。5)顯示,發(fā)達(dá)系統(tǒng)相同或略比 HP5529A 重復(fù)性的類(lèi)別。這是可能是因?yàn)橹g的光纖傳輸激光源和干涉儀光學(xué)已經(jīng)消除了空氣動(dòng)蕩惡化的激光性能。展示 3 d 對(duì)角線(xiàn)測(cè)量提出了圖 6。一個(gè)應(yīng)用程序?qū)蔷€(xiàn)測(cè)量的體積多軸機(jī)床的精度評(píng)價(jià)。由于光纖會(huì)在測(cè)量了,光纖電纜的搖擺效果非常重要。圖 7(a)展示了 y 軸位移誤差的測(cè)量結(jié)果用不同的機(jī)器進(jìn)料速度(300 毫米/分鐘,1000 毫米/分鐘,3000 毫米/分鐘和 6000 毫米/ 分鐘)一個(gè)過(guò)剩干涉儀 h 5 120 毫米的距離視神經(jīng)。在這種情況下,測(cè)試結(jié)果是非常接近的時(shí)候進(jìn)料速度低于 3000 毫米/分鐘。然而,正如圖所示。7(b),增加了視覺(jué)的過(guò)剩時(shí),陣列激光干涉儀的穩(wěn)定性壞的。這表明,在這個(gè)實(shí)現(xiàn)中,纖維的錯(cuò)誤 由于振動(dòng)和搖擺不定的影響,可能在座影響實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)。然而,相關(guān)的錯(cuò)誤與光纖可以消除與適當(dāng)?shù)脑O(shè)計(jì)干涉儀系統(tǒng),如使用的技術(shù)激光球棒。 圖 2-5 3. 幾何誤差校準(zhǔn) 陣列激光干涉儀系統(tǒng)的一個(gè)應(yīng)用程序是,所有的 21 個(gè)幾何錯(cuò)誤的多軸機(jī)可以快速?gòu)膶?duì)角線(xiàn)測(cè)量校準(zhǔn)提出了裁定。[17]。它已經(jīng)被證明了幾何誤差的硬件機(jī)器可以通過(guò)測(cè)量位移確定錯(cuò)誤在 22 行機(jī)器工作容積。因?yàn)橹粎⑴c擬議中的位移測(cè)量參數(shù)標(biāo)定方法,光學(xué)設(shè)置角度,商業(yè)的直線(xiàn)度和垂直度的測(cè)量激光系統(tǒng)可以消除。另一個(gè)優(yōu)勢(shì)是,21 年多軸機(jī)床的幾何誤差可以很快校準(zhǔn)中使用該系統(tǒng) 1 小時(shí)縮減了幾天的時(shí)間使用傳統(tǒng)的激光干涉儀系統(tǒng)。 圖 6 3.1. 傾斜和偏航校準(zhǔn) 傾斜和偏航運(yùn)動(dòng)軸可以校準(zhǔn)沿著 2 線(xiàn)平行于軸位移測(cè)量運(yùn)動(dòng),但在適當(dāng)?shù)木嚯x正交方向。不需要知道機(jī)器的運(yùn)動(dòng)模型和假設(shè)的數(shù)學(xué)形式的傾斜和偏航。更大的之間的偏移量這兩行,一個(gè)可以測(cè)量分辨率越好。然而,我們必須記住,這也可以增加由于擺動(dòng)和振動(dòng)噪聲的效果光纖。圖 8 顯示了測(cè)量的結(jié)果球場(chǎng)使用修改后的系統(tǒng)和 HP5529A 系統(tǒng)。這 2 行之間的距離 h 5 200 毫米。 圖 7 圖 8 3.2. 方形度和校準(zhǔn) 假設(shè) 3 地方坐標(biāo)系統(tǒng) B,C,D 分配和固定在 3 移動(dòng)幻燈片。同樣,一個(gè)全球坐標(biāo)系統(tǒng)分配給這臺(tái)機(jī)器基礎(chǔ)。然后,反光鏡的位置矢量和干涉儀分別放在主軸和工方形可以從位移測(cè)量校準(zhǔn) 2 對(duì)角線(xiàn)的飛機(jī),如圖 9 所示?；镜南敕ㄊ?如果存在于一個(gè)方形錯(cuò)誤機(jī)軸,AB 線(xiàn)的位移不同的線(xiàn)位移的 CD。然而,這是理想的情況下當(dāng)視神經(jīng)可以在設(shè)置條件,只是由于位移不同一絲不茍的錯(cuò)誤。在一些機(jī)器配置,視神經(jīng)設(shè)置必須改變?yōu)榱送瓿蓪?duì)角線(xiàn)測(cè)量。例如,在加工中心圖 10 所示,干涉儀必須設(shè)置在不同工作表上的位置測(cè)量直線(xiàn) AB 和行 CD。在這種情況下,位移的區(qū)別這兩個(gè)對(duì)角線(xiàn)的結(jié)合平直度、偏航和一絲不茍的 2 臺(tái)機(jī)器軸。因此,機(jī)器必 須的運(yùn)動(dòng)學(xué)模型為了確定已知的方形錯(cuò)誤測(cè)量數(shù)據(jù)。來(lái)源于的運(yùn)動(dòng)學(xué)模型齊次坐標(biāo)變換方法文獻(xiàn)[18]中所述。配置和坐標(biāo)系統(tǒng)加工中心的研究工作進(jìn)行描述圖件表,可以轉(zhuǎn)化為全球協(xié)調(diào)使用相應(yīng)的齊次坐標(biāo)變換矩陣。派生的運(yùn)動(dòng)學(xué)模型的加工中心是由 [方程式。(1)-(3)] (1) (2) (6) 從公式(7)我們可以確定如果方形錯(cuò)誤幾何誤差方程的右邊是已知的。在這些錯(cuò)誤條件,線(xiàn)性位移和偏航已經(jīng)從以前的步驟。直線(xiàn)度誤差可以校準(zhǔn)在下一節(jié)描述的方法。進(jìn)行一個(gè)測(cè)試衡量 XY 軸的垂直度誤差對(duì)使用提出的方法。XY 軸的垂直度誤差發(fā)現(xiàn)是 3.5 ,類(lèi)似于 2.6 的結(jié)果。直線(xiàn)度誤差和方形可以校準(zhǔn)同時(shí)位移測(cè) 量的 3 斜線(xiàn)的一架飛機(jī),圖 12 所示。這個(gè)方法提及了文獻(xiàn) 17,它必須是一個(gè)重要組成部分對(duì)角位移,因?yàn)榈木€(xiàn)性位移線(xiàn)平行于機(jī)軸沒(méi)有組件的機(jī)軸的直線(xiàn)度。簡(jiǎn)單的計(jì)算,最好是選擇一個(gè)數(shù)量的測(cè)量時(shí)間間隔等于 3(),其中 n 是一個(gè)正整數(shù)。計(jì)算過(guò)程包括一系列的方程,必須解決確定訂單。圖 13 顯示了使用該方法校準(zhǔn)平直度。似乎是價(jià)值類(lèi)似結(jié)果由一個(gè)直尺工件。然而,它是還發(fā)現(xiàn),計(jì)算過(guò)程可能產(chǎn)生噪聲累積計(jì)算。圖 14 顯示了仿真結(jié)果使用 0.3 - 2 mm 和 mm 噪音水平。結(jié)果顯示計(jì)算過(guò)程非常敏感由于機(jī)器可重復(fù)性噪聲水平。通常,大多數(shù)機(jī)床的直線(xiàn)度誤差是相同的級(jí),甚至小于位置可重復(fù)性。因此,對(duì)角線(xiàn)的噪音水平位移數(shù)據(jù)可以在同一比的大小或更大平直度校準(zhǔn)。這是不合理的估計(jì)一個(gè)參數(shù)從一個(gè)數(shù)據(jù)集噪音大非參數(shù)的值。盡管我們可以減少噪音水平位移的測(cè)量使用平均技術(shù),仍然是不確定性的結(jié)果很大的噪音傳播問(wèn)題。該方法在裁判。文獻(xiàn)[17]需要 3()的迭代步驟來(lái)計(jì)算斜的直線(xiàn)度誤差位移測(cè)量。在迭代的每一步計(jì)算,前一步的噪音或不確定性參與并將其添加到下一步。因此,迭代計(jì)算后的最終結(jié)果的不確定性將成為一個(gè)值是 3()時(shí)間機(jī)器的位置不確定性。我們可以改善的不確定性和通過(guò)使用平均直線(xiàn)度精度校準(zhǔn)技術(shù)降低噪聲水平位移測(cè)量。對(duì)于每一個(gè)對(duì)角線(xiàn),我們測(cè)量相同行 m 倍,然后平均測(cè)量。在這情況下,平直度的不確定性將成為一個(gè)值 3()/ m 的機(jī)器的位置可重復(fù)性。 圖 14 圖 15 3.3. 輥校準(zhǔn) 輥校準(zhǔn)可以通過(guò)測(cè)量附加 3 斜線(xiàn)分開(kāi) 3 的對(duì)角線(xiàn)正交的直線(xiàn)度校準(zhǔn)距離方向,如圖 15 所示。這種方法也提出了文獻(xiàn)[17]及其計(jì)算過(guò)程類(lèi)似平直度計(jì)算。然而,同樣的問(wèn)題累積計(jì)算噪音被發(fā)現(xiàn)計(jì)算。此外,問(wèn)題是惡化的事實(shí)輥的計(jì)算錯(cuò)誤必須使用所有的以前校準(zhǔn)幾何錯(cuò)誤如瀝青、偏航、平直度、一絲不茍。噪聲嵌入在前面的校準(zhǔn)步驟這些幾何誤差會(huì)累積成卷校準(zhǔn)。因此,提出方法是非常敏感的測(cè)量機(jī)器噪音和可重復(fù)性。 3.4. 輥垂直軸的校正 由于噪聲傳播問(wèn)題,精度輥校準(zhǔn)用文獻(xiàn)[17]中提出的方法如果對(duì)角線(xiàn)測(cè)量中 的噪聲是有爭(zhēng)議造成很大的不確定性。幸運(yùn)的是,很容易測(cè)量水平輥的使用一個(gè)電子的水平。然而,從歷史上看,垂直軸的滾的機(jī)器計(jì)量更加困難完成的目標(biāo)。主要問(wèn)題是只有噪聲傳播問(wèn)題。因此,我們提出一種標(biāo)定方法對(duì)使用電子水平和對(duì)角線(xiàn)垂直軸位移測(cè)量的幫助下,電子水平,噪聲傳播的問(wèn)題能夠解決。噪聲傳播的基本原因文獻(xiàn)[17]它使用一個(gè)迭代過(guò)程來(lái)確定,與此同時(shí),2 機(jī)的軸校準(zhǔn)。然而,如果 2 的第 1 卷機(jī)軸之前所知,另一個(gè)軸的直接從對(duì)角位移測(cè)量不確定的迭代計(jì)算。所示圖 16(a)和(b)兩對(duì)角線(xiàn)之間的位移差異,是平行的,但分開(kāi)一些距離,從卷角的錯(cuò)誤結(jié)果機(jī)軸。因此,如果卷 1 軸第一,然后可以確定另一個(gè)軸的滾的對(duì)角線(xiàn)測(cè)量。通過(guò)測(cè)量對(duì)角線(xiàn)位移的垂直面 XZ 或 YZ,等我們可以使用電子水準(zhǔn)儀測(cè)量的水平 軸和使用對(duì)角線(xiàn)位移測(cè)量來(lái)計(jì)算垂直軸的滾。這解決了噪聲傳播問(wèn)題,但缺點(diǎn)是一個(gè)輔助電子水準(zhǔn)儀是必需的。為了驗(yàn)證該方法,我們將使用 XY 軸作為一個(gè)例子,因?yàn)榻Y(jié)果可以相比從電子水平。以同樣的方式平直度校準(zhǔn)的問(wèn)題,視神經(jīng)設(shè)置必須改變?yōu)榱送瓿蓪?duì)角線(xiàn)測(cè)量。在這種情況下,位移的區(qū)別這兩個(gè)對(duì)角線(xiàn)的結(jié)合 2 的音高和輥機(jī)軸。因此,機(jī)器必須是已知的運(yùn)動(dòng)學(xué)模型從測(cè)量數(shù)據(jù)確定輥。假設(shè)AB 線(xiàn)的體積誤差方程式(4)和(5)。 、 圖 17 4. 結(jié)論 一個(gè)陣列激光干涉儀系統(tǒng)機(jī)床校準(zhǔn)已經(jīng)證明。該系統(tǒng)完全兼容商業(yè)激光干涉儀系統(tǒng),但消除了困難和耗時(shí)位移測(cè)量的光學(xué)校準(zhǔn)過(guò)程。系統(tǒng)也是一個(gè)對(duì)角線(xiàn)位移的能力多軸數(shù)控機(jī)床自動(dòng)測(cè)量視神經(jīng)對(duì)齊。工作也證明了幾何誤差多軸機(jī)可以快速校準(zhǔn)的陣列對(duì)角線(xiàn)測(cè)量能力。21 幾何誤差可以通過(guò)測(cè)量位移誤差以及 22 行機(jī)器工作傳統(tǒng)的激光干涉儀系統(tǒng),只需要 1 小時(shí)提出系統(tǒng)完成幾何校準(zhǔn)的機(jī)器硬件。。因此,直線(xiàn)度誤差估計(jì)的精度和可靠性從位移測(cè)量變得可疑的當(dāng)機(jī)器可重復(fù)性產(chǎn)生足夠大的噪音在位移測(cè)量。改進(jìn)的一種方法平直度校準(zhǔn)使用的可靠性和準(zhǔn)確性平均技術(shù)來(lái)降低噪音水平位移測(cè)量。輥的校準(zhǔn)方法垂直軸也提出并演示了這項(xiàng)工作。一個(gè)垂直的滾動(dòng)軸可以確定通過(guò)測(cè)量對(duì)角線(xiàn)垂直平面的位移時(shí)輥的水平軸預(yù)先確定的由電子水平。 參考（略）